| 成果或技术描述 |
技术来源：X射线三维显微成像技术能够显示物体内部的3D细微结构，是当前开展纳米材料学、生物与生命学和微电子学等方面的研究所急需的有力检测手段。受焦点和探测器单元尺寸、射线能量及机械精度等因素的制约，传统的工业和医疗CT（空间分辨率一般大于0.1mm）无法对X射线吸收差异小的材料和结构进行高分辨率和对比度的成像，无法满足三维显微成像的需求。由于SEM能够产生直径到纳米级的电子束束斑，利用聚焦的电子束轰击多能靶材产生百纳米级、不同能量的X射线点源，再引入高精密运动控制系统、高灵敏度X射线探测系统，可对SEM进行改进使其实现物体的百纳米级分辨率的彩色三维CT成像，存在极大的市场需求。
研发团队：中国科学院电工研究所研发项团队在该项目的电子光学设计及电子束控制及系统集成方面中具备了雄厚的技术积累，完成纳米级电子束曝光系统实用化、90kV微焦斑X射线源的研发等工作，在其中电子枪、靶材、精密位移台等关键部件和方法中都积累了良好的工作和实践经验；参研单位中国科学院高能物理研究所研发团队具备了一定规模的研制和开发能力，组建了包括探测器设计、电子学、软件等多个专业组，并在X射线领域开发了包括正电子发射断层扫描装置（PET）、X射线计算机断层扫描装置（CT）等多套设备，在工业检测、医学等领域都得到了应用和检验。
成果概述：本成果彩色Nano-CT首先提出在SEM中引入多能靶材，利用高精密运动位移台和高灵敏度X摄像探测器，实现了轻质样品的彩色CT成像，在空间分辨率等性能指标达到优于500nm，不低于国外同类产品。并可应用于生物样品、多孔多相介质的无损检测。已经在中国工程物理研究院激光聚变研究中心和国家纳米中心等单位获得应用。
产业化基础：我国拥有上千台在线使用的扫描电子显微镜，且每年还从国外进口200台左右，预估每年有20台数量的Nano-CT技术改造升级。这是该仪器大规模产业化的市场基础和市场前景。 |
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